★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)
★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
★ 在各運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能
★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量