特殊規(guī)格對位平臺

★ 臺灣精品獎產(chǎn)品

GAS00-350AC精密XXY對位平臺-超高剛性型-氣壓式

GAS00-350SC精密XXY對位平臺-超高剛性型-電磁式

★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模組化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構(gòu)

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達高剛性、高精度表現(xiàn)

★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

★ 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,品質(zhì)及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與品質(zhì)