精密滑臺的實(shí)際使用例

分配器裝置

龍門式XYZ滑臺／滾珠絲杠驅(qū)動

映射裝置

晶片樣品臺： XY滑臺

掃描透鏡：單軸執(zhí)行器

搬運(yùn)裝置（2個零件同時）

XZ滑臺／Z×2臺 安裝

上述列舉的例子是電子領(lǐng)域最具代表性的裝置引進(jìn)例。

順便說一下，本稿未過多提及滑臺的精度，不同用途所要求的精度水平各式各樣，大致為50µm～5nm，

要求的精度不同，設(shè)計(jì)上、驅(qū)動方式和機(jī)構(gòu)，以及控制方針都不同。