實(shí)驗(yàn)光路

1 .接通電源，等待激光1迅速發(fā)光，光強(qiáng)度穩(wěn)定。 2 .打開驅(qū)動(dòng)電源開關(guān)。

檢查CMOS23的電信號(hào)是否點(diǎn)亮。

4 .光路調(diào)整時(shí)拆下反射鏡4、13后，使激光擴(kuò)散。

移動(dòng)到反射鏡4、13，不擴(kuò)散激光。 注:以下所有實(shí)驗(yàn)的開始步驟與通用部分相同

高精密電動(dòng)二維位移臺(tái)本實(shí)驗(yàn)步驟

 1 .擴(kuò)展

2 .在組合工作臺(tái)16、18上分別安裝平面鏡，調(diào)整工作臺(tái)16、18進(jìn)行調(diào)平，以使2路反射光經(jīng)常重疊(在成像物鏡20后焦點(diǎn)面，兩反射光聚光的焦點(diǎn)重疊)

3 .打開電腦，微調(diào)舞臺(tái)上的千分尺，顯示屏上就會(huì)看到干涉條紋

調(diào)整CMOS在軌道上的位置，使干涉條紋清晰，鎖定23，進(jìn)一步調(diào)整可調(diào)光圈22的開口位置，過濾分光器的寄生干涉光5 .測(cè)量程序的操作參見軟件的操作說明書。

可見初期電壓范圍內(nèi)的移動(dòng)距離和電壓呈線性關(guān)系是符合理論的。 此時(shí)，如果電壓變化到150V以后，則可能是記錄數(shù)據(jù)錯(cuò)誤的原因。 另外，在實(shí)驗(yàn)中，有時(shí)也會(huì)因與設(shè)備本身的原因而發(fā)生條紋移動(dòng)。 其次，也可能會(huì)因?qū)嶒?yàn)中的微小振動(dòng)而將干涉條紋的變化進(jìn)行計(jì)數(shù)。 但是，我們可以根據(jù)前幾組數(shù)據(jù)客觀地反應(yīng)位移量和電壓的系統(tǒng)。

考試問題

1 .干涉測(cè)量的好處是什么？ 寫幾個(gè)你知道的應(yīng)用場(chǎng)景。

答:干涉測(cè)量技術(shù)多為非接觸測(cè)量，具有高測(cè)量靈敏度、高精度、高轉(zhuǎn)換增益、良好的濾波性能、良好的空間和偏振鑒別能力。 干涉測(cè)量的應(yīng)用范圍非常廣泛，可以用于位移、長(zhǎng)度、面形狀、介質(zhì)折射率的變化、振動(dòng)等的測(cè)量。 2 .干涉測(cè)量采用激光的好處是什么？

答:選擇激光作為光源。 激光單色性強(qiáng)，方向性高，干涉效果好，測(cè)量精度高，能得到清晰明亮的干涉條紋。

3 .干涉條紋的間隔大小對(duì)測(cè)量有什么影響？ 應(yīng)該怎么取值呢？

答:由于實(shí)驗(yàn)是通過條紋強(qiáng)度的測(cè)量來實(shí)現(xiàn)微小位移量變化的測(cè)量，因此條紋間隔不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。 但是，為了便于觀察，實(shí)驗(yàn)時(shí)必須選擇適當(dāng)?shù)臈l紋間隔進(jìn)行測(cè)量。 實(shí)驗(yàn)調(diào)節(jié)干涉條紋，必須考慮條紋足夠粗和對(duì)比度明亮暗淡兩個(gè)方面。

4 .一般的干擾測(cè)量有什么不足嗎？ 如何改善？

答:由于環(huán)境因素的影響很大，實(shí)驗(yàn)時(shí)必須避免使試驗(yàn)臺(tái)振動(dòng)，同時(shí)避免外部光源對(duì)激光束的影響。 在有防振裝置的實(shí)驗(yàn)臺(tái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，同時(shí)調(diào)節(jié)實(shí)驗(yàn)光路后，最好用不透光的外罩遮擋實(shí)驗(yàn)光路。

通過實(shí)驗(yàn)掌握了激光干涉測(cè)量微小位移量的原理和方法，同時(shí)掌握了微米和亞微米

米級(jí)位移量的激光干涉測(cè)量方法，了解了激光干涉測(cè)量方法的優(yōu)點(diǎn)和應(yīng)用情況，對(duì)干涉測(cè)量法有了深入的認(rèn)識(shí)。 通過這次實(shí)驗(yàn)不僅增加了我的理論知識(shí)，同時(shí)也鍛煉了我的動(dòng)手能力和解決問題的能力。