精密對位平臺包括對位模塊固定板、移動板、x方向移動裝置、第1y方向移動裝置、第2y方向移動裝置，x方向移動裝置、第1y左右方向移動裝置、第2y方向移動裝置分別與該移動板對應(yīng)對位模塊固定板、及 包括設(shè)置在該定位模塊固定板上的x方向動力裝置、第1y方向動力裝置和第2y方向動力裝置，x方向動力裝置使x方向移動裝置沿x方向往復(fù)運(yùn)動，x方向移動裝置使該運(yùn)動板沿x方向往復(fù)位移，第1y方向動力裝置使第1y方向移動裝置沿y方向往復(fù)運(yùn)動， 第1y方向移動裝置使該運(yùn)動板在y方向往復(fù)位移，第2y方向動力裝置使第2y方向移動裝置在y方向往復(fù)移動，第2y方向移動裝置使該運(yùn)動板在y方向往復(fù)位移。

x方向移動裝置包括經(jīng)由軸承可動地連結(jié)x方向移動板，在x方向移動板的下端面，在上方設(shè)有沿著對準(zhǔn)模塊固定板上的第一固定板滑槽往復(fù)移動的滑軌、和沿著該滑槽往復(fù)移動的滑軌。

第一y方向移動裝置包括經(jīng)由軸承可移動地連結(jié)第一y方向移動板，在第一y方向移動板的下端面，在上方設(shè)有沿著對準(zhǔn)模塊固定板上的第二固定板滑動槽往復(fù)移動的滑動軌道、和沿著該滑動槽往復(fù)移動的滑動軌道。

第二y方向移動裝置具備經(jīng)由軸承可移動地連結(jié)第二y方向移動板，在第二y方向移動板的下端面，在上方設(shè)有沿著對準(zhǔn)模塊固定板上的第三固定板滑動槽往復(fù)移動的滑動軌道、和沿著該滑動槽往復(fù)移動的滑動軌道。

x方向動力裝置包括電機(jī)和固定連接于該電機(jī)的偏心輪，該偏心輪與x方向移動板之間由彈簧連接，消除了該偏心輪與x方向移動板之間的間隙。

第一y方向動力裝置包括電機(jī)和固定連接在該電機(jī)上的偏心輪，該偏心輪與第一y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除偏心輪與第一y方向移動板之間的間隙。

第二y方向動力裝置包括電動機(jī)和固定連接在該電動機(jī)上的偏心輪，該偏心輪與第二y方向移動板之間通過彈簧連接，該彈簧消除偏心輪與第二y方向移動板之間的間隙。